根據(jù)《高精度NTC熱敏電阻芯片的制作-2》,以0603~10KΩB(25/50)=3435K片式NTC熱敏電阻制作方法作為實例加以說明:
一、所述NTC熱敏電阻半導體陶瓷粉體制備方法是通過溶膠——凝膠的化學法制作而成。具體步驟是:溶膠的制備——凝膠化——凝膠的干燥——煅燒——NTC熱敏電阻半導體陶瓷粉體備用。
二、條狀成型/燒結:NTC熱敏陶瓷條(棒)等靜壓成型法
成型:將制備好的NTC熱敏陶瓷粉體至于橡膠模具中,松裝,振實;置于等靜壓機中,采用300~400Mpa的壓強壓30分鐘,釋壓,從模具中取出;
高溫燒結:將壓好的生胚陶瓷錠采用高溫燒結爐緩慢(1℃/min)升溫至1200±50℃,保溫5~50小時,然后緩慢(1℃/min)降溫至100℃,制得陶瓷錠;
三、切片
根據(jù)NTC熱敏電阻設計的需要,采用內(nèi)圓切割機切割燒結后的壓敏電阻陶瓷錠6至所需厚度為200~2000μm的NTC熱敏陶瓷基片,再將該NTC熱敏陶瓷基片切成條狀,即能制成方型NTC熱敏陶瓷條。
四、電阻率測試
將燒結好的NTC熱敏陶瓷條的兩端上端電極,測試計算其電阻率。
五、尺寸劃切
由該批次產(chǎn)品的電阻率計算該批產(chǎn)品芯片切割的劃切尺寸,將具有表面玻璃保護層的NTC熱敏陶瓷條(即NTC熱敏電阻條),對應相應的尺寸劃切成NTC熱敏電阻芯片。
六、上端電極
采用印刷法,在NTC熱敏電阻芯片的兩端均勻涂上端電極漿料并采用電阻爐將銀電極和NTC熱敏電阻芯片的NTC熱敏瓷體介質(zhì)緊密燒滲,NTC熱敏電阻芯片的表面為玻璃封裝層(相當于NTC熱敏陶瓷條上的玻璃保護層)。
這種高精度NTC熱敏電阻芯片的制作方法,能較好地實現(xiàn)高精度調(diào)阻,可靠性好,在應用電路中使用后的電性能(R電阻值及B值)年漂移率小于0.1%,因此使用此方法生產(chǎn)的NTC熱敏電阻芯片,高精度產(chǎn)品的命中率會有非常大的提高,產(chǎn)品的穩(wěn)態(tài)濕熱性,高溫負荷變化率及熱沖擊變化率小。
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