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技術(shù)支持
高介電常數(shù)SLC單層芯片電容
發(fā)布者 : admin 發(fā)布時間 : 2022/05/30 09:05:15


在現(xiàn)代電子領(lǐng)域的發(fā)展中,電子裝置的小型化和多功能化已經(jīng)成為發(fā)展趨勢,電子領(lǐng)域?qū)ζ诫娮釉骷男枨笕找孢f增,從而帶動了SLC單層芯片電容的飛速發(fā)展。晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料具有溫度特性好、介電常數(shù)高以及頻率特性好等優(yōu)點,在單層片式半導(dǎo)體陶瓷材料中占據(jù)重要地位?,F(xiàn)有晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料的制作工藝一般為:

材料配比→與去離子水混合→烘干→粉碎→煅燒→過篩→加添加劑→混合→流延成膜→排膠→在氫氮混合氣體中還原→涂覆氧化劑,空氣氣氛中氧化,燒結(jié)→單層芯片電容用基片。

這種工藝制得的晶界層大多添加了鎘和鉛等重金屬,在生產(chǎn)和使用的過程中對環(huán)境的污染極大。針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,廣東愛晟電子科技有限公司介紹一款高介電常數(shù)SLC單層芯片電容,其晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料不含鎘和鉛等重金屬,具有對環(huán)境污染少、介電常數(shù)高等優(yōu)點。高介電常數(shù)SLC單層芯片電容的晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料,按重量百分比由60~69% SrCO3、30~38% TiO2以及0.2~3%添加劑制成。具體的制備方法如下:

一、按配比將SrCO3與TiO2配好料后,加入去離子水,采用球磨機進行混合球磨,球磨漿料中粉料、磨球和去離子水的重量比為1:5:1~1.5,球磨時間為2~3小時,然后烘干、粉碎;

二、在1200℃~1300℃中將粉料煅燒3~4小時,然后粉碎、過篩;

三、在粉料中加入添加劑,加入去離子水,采用球磨機來進行混合球磨,球磨漿料中粉料、磨球和去離子水的重量比為1:5:1~1.5,球磨時間為3~4小時,然后烘干、粉碎、過60目篩;

四、在20~30MPa壓力下將粉料壓制成尺寸為50mm*50mm的錠子,再經(jīng)過燒結(jié)得到陶瓷體,燒結(jié)的條件為:先在氫氮混合氣氛中以1300℃~1400℃溫度保溫?zé)Y(jié)4~5小時,然后降溫至1000±50℃,并通入空氣保溫?zé)Y(jié)3~6小時;

五、按所需厚度對陶瓷體切片,得到單層芯片電容用陶瓷基片;

六、通過印刷或濺射的方式對陶瓷基片進行金屬化處理,在陶瓷基片上形成金屬電極;

七、利用劃片機對陶瓷基片進行劃切,得到單層芯片電容;

八、對制得的單層芯片電容進行電性能測試。

高介電常數(shù)單層芯片電容通過ZnO、CaCO3、Li2CO3、B2O3、CuO、La2O3、SiO2和Bi2O3等添加劑合理配比,在晶界上形成穩(wěn)定且絕緣良好的晶界層,故無需涂覆絕緣氧化物也可以達到同樣的絕緣性能。另外,通過調(diào)整燒結(jié)工藝,一次燒結(jié)出性能優(yōu)良陶瓷電容器晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料,不需要采用涂覆絕緣氧化物的二次燒結(jié)方法,降低了生產(chǎn)的成本,而且符合單層芯片電容小型化和容量高的發(fā)展趨勢,以滿足日益提高的技術(shù)需要。





參考數(shù)據(jù):

CN114334444A《一種單層陶瓷電容器晶界層半導(dǎo)體陶瓷材料及其制備》

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